単結晶引上げ用ロードセル 製品概要
製品概要
単結晶引上げロードセルは、単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。
主にチョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には改良に改良を重ね、長年の研究成果をもとに 開発された独特の荷重センサを用いました。今までにない高性能を実現し、結晶成長工程の全自動化に威力を発揮します。
ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。
特徴
速い応答周波数
振動の影響を受けにくい剛性構造
低速回転から高速回転まで安定動作
ノイズに強い対策実施で低リップル
高性能と安定性の両立で全自動化
長時間の計測にも安定動作
不感帯もなく、微妙な制御
